【摘要】：研究了三維微型腔模具的制備方法。該方法基于微型雙工位分層實(shí)體制造工藝(DLOM)，通過多層銅箔二維微結(jié)構(gòu)疊加擬合出三維隊(duì)列微電極，將制備的微電極用于微細(xì)電火花加工來制得三維微型腔模具。首先，利用線切割對(duì)100μm厚的多層銅箔進(jìn)行逐層切割，獲得多層二維微結(jié)構(gòu)。然后，通過真空壓力熱擴(kuò)散焊對(duì)多層銅箔二維微結(jié)構(gòu)進(jìn)行連接，疊加擬合出三維隊(duì)列微電極。最后，在電壓80V，脈沖頻率0.2MHZ，脈沖寬度800ns，休止脈寬4 200ns的作用下，將上述工藝制備的三維隊(duì)列微電極用于微細(xì)電火花加工，獲得表面質(zhì)量良好、形狀與尺寸精度較高的三維微型腔模具。為了有效減少電極損耗對(duì)加工精度的不利影響，使用隊(duì)列電極中的微電極依序?qū)θS微型腔進(jìn)行了加工。基于上述研究結(jié)果，制備了兩種形狀的三維隊(duì)列微電極并通過微細(xì)電火花加工獲得了表面粗糙度Ra為0.48μm的三維微型腔模具。與目前主流的微細(xì)電極逐層掃描放電加工三維微結(jié)構(gòu)的工作方式相比，提出的三維微電極只需進(jìn)行上下往返式加工便可獲得三維微型腔模具，工作效率高且損耗低。